Jak działa próżniowa maszyna do rozpylania magnetronowego- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Jak działa próżniowa maszyna do rozpylania magnetronowego

Rozpylenie magnetronowe jest popularną techniką powlekania próżniowego stosowanego do tworzenia funkcjonalnych i dekoracyjnych filmów do szerokiej gamy zastosowań. Technika ta jest szeroko stosowana w branży elektronicznej, na przykład w produkcji elementów elektronicznych, takich jak mikroprocesory, układy pamięci, mikrokontrolery i tranzystory.

Proces rozpylania obejmuje bombardowanie materiału docelowego za pomocą wysokiego napięcia DC lub pulsacyjnego DC, RF lub AC. Proces ten wymaga również komory i pomp o wysokiej prakuum, aby zapewnić środowisko tak czyste, jak to możliwe.

Przed rozpoczęciem procesu rozpylania komora musi być wypełniona odpowiednim gazem do procesu. Ten gaz jest ogólnie argonowy, ale można również zastosować inne gazy, takie jak tlen. Prawidłowy rodzaj gazu zależy od określonych materiałów i jakie właściwości są wymagane, aby powłoka do wykonywania zamierzonej funkcji.

W zależności od procesu, którego szukasz, system zasilania będzie się zmieniać, ale wszystkie mają tę samą zasadę rdzenia: prąd wysokiego napięcia lub pulsacyjna zasilanie prądu stałego przez katodę, w której znajdują się pistolet rozpylący i materiał docelowy. Ta moc musi wzrosnąć z niższego napięcia przed pełnym uruchomieniem procesu osadzania.

Sama katoda jest zamontowana nad podłożem i może mieć kształt okrągłego lub prostokątnego, aby odpowiadać na wymagania dotyczące aplikacji. Okrągła konfiguracja jest najlepsza dla systemów pojedynczych podłoża, podczas gdy prostokątna katoda jest idealna dla systemów w linii.

Po zakończeniu procesu rozpylania nadszedł czas, aby załadować podłoże do głównej komory usposobienia i przygotowanie go do osadzania. Zwykle odbywa się to poprzez przymocowanie go do uchwytu podłoża, który trzyma podłoże i zabezpiecza go w komorze. Posiadacz może również mieć możliwość załadowania i wychodzenia podłoży bez uszczerbku dla poziomu próżniowego.

W wielu systemach rozpylania magnetronu podłoże jest ładowane do komory osadzania przez bramę, co pozwala jej poruszać się i wyjść z komory zamka obciążenia bez uszczerbku dla środowiska próżniowego. Zapobiega to uszkodzeniu podłoża lub materiałów i pozwala na szybką zmianę materiału do osadzania.

Po załadowaniu podłoża umieszcza się go w głównej komorze osadzania, w której znajduje się pistolet rozpylający z pożądanym materiałem powłokowym i pistoletem napylącym, który został pompowany do komory. Po na swoim miejscu silne pole magnetyczne za materiałem docelowym tworzy warunki rozpylania.

Podczas procesu rozpylania jony naładowane wysokoenergetyczne wyrzucane z materiału docelowego na podłoże. Jony te mają wysoką gęstość jonów, co czyni je stosunkowo stabilnymi w atmosferze rozpylającej i powodując wysokie wskaźniki osadzania. Morfologia jonowa materiału rozpylonego na powierzchni będzie zależeć od kilku czynników, w tym kąta polaryzacji jonów i energii wiązania powierzchni jonów.

Na ciśnienie, przy czym tworzenie tworzenia plazmy jest również wpływające na gęstość jonów rozpylających i rozpylanie atomów metalu, tj. Ciśnienie MTorr, które może wynosić od 10-3 do około 10-2. Szybkość rozpylania materiałów, takich jak izolatory i materiały przewodzące, zostaną zmniejszone z powodu niższych potencjałów jonizacji jonowania tych materiałów.

Maszyna do powlekania rozpylania magnetronowego

W szerokim zakresie kolorów można osadzić powłoki z wielu aran i rozpylania. Rozbrzmiewanie kolorów można dodatkowo wzmocnić, wprowadzając reaktywne gazy do komory podczas procesu osadzania. Powszechnie stosowane gazowe gazy reaktywne do powłok dekoracyjnych są azot, tlen, argon lub acetylen. Powłoki dekoracyjne są wytwarzane w określonym zakresie kolorów, w zależności od stosunku metalu do gazu w powładzie i strukturze powłoki. Oba te czynniki można zmienić, zmieniając parametry osadzania.

Przed osadzaniem części są oczyszczane, aby powierzchnia wolna od pyłu lub zanieczyszczeń chemicznych. Po rozpoczęciu procesu powłoki wszystkie odpowiednie parametry procesu są stale monitorowane i kontrolowane przez automatyczny system sterowania komputerowego.

• Materiał podłoża: szkło, metal (stal węglowa, stal nierdzewna, mosiądz), ceramika, plastik, biżuteria.

• Typ struktury: Struktura pionowa, stal nierdzewna #304.

• Film powłoki: wielofunkcyjny metalowy film, film kompozytowy, przezroczysta folia przewodzącego, folia rosnąca, elektromagnetyczna folia ekranowa, film dekoracyjny.

• Kolor filmu: Kolory multi, pistolet czarny, tytanowy złoty kolor, różowy złoty kolor, kolor ze stali nierdzewnej, fioletowy kolor, ciemny czarny, ciemnoniebieski i inne więcej kolorów.

• Typ filmu: Tin, CRN, ZRN, TICN, TICRN, TINC, TIALN i DLC.

• Materiały eksploatacyjne w produkcji: tytan, chrom, cyrkon, żelazo, cel stopowy; cel płaski, cylindryczny cel, bliźniaczy cel, przeciwny cel.

Udział: