Jak rozwiązać nierównomierność filmów sputowanych magnetronów?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

, należy zapewnić jednolitość i kierunek pola magnetycznego, aby utworzyć stosunkowo jednolite pole magnetyczne przestrzeni.

Po drugie, należy zapewnić jednolitość ciśnienia powietrza w miarę możliwości. Podczas projektowania komory próżniowej pozycja instalacji pompy próżniowej, sposób Fabryka maszyn do powlekania próżniowego parowania należy wziąć pod uwagę spożycie gazu i układu rury procesowej w komorze.

Po trzecie, ponieważ pole magnetyczne i ciśnienie powietrza nie mogą być absolutnie idealne, pole magnetyczne można zrekompensować nierównomierność ciśnienia powietrza, aby uczynić końcowy film.

Po czwarte, odległość podstawy docelowej jest również ważnym czynnikiem wpływającym na jednolitość.

Udział: