Jakie czynniki wpłyną na wydajność powłoki maszyny do powłoki próżniowej?

Jakie czynniki wpłyną na wydajność powłoki próżniowa maszyna do powłoki ?

Jeśli maszyna do powłoki próżniowej chce pokryć dobrą folię, musi zapewnić, że wiele czynników jest w stanie normalnym, takim jak powłoka próżniowa, podstawowa odległość docelowa, temperatura parowania, temperatura podłoża, resztkowe ciśnienie gazu i inne czynniki. W pewnym czynniku istnieje odchylenie. Wpłynie to na wydajność warstwy powłoki maszyny do powłoki próżniowej. Poniżej znajduje się edytor próżni, który szczegółowo wyjaśnia, jakie czynniki wpłyną na wydajność powłoki maszyny do powłoki próżniowej. Mam nadzieję, że może ci to pomóc:

1. Wskaźnik parowania

Wielkość wskaźnika parowania ma duży wpływ na zdeponowany film. Ponieważ struktura powłoki utworzona przez niską szybkość osadzania jest luźna i łatwa do odłożenia dużych cząstek, aby zapewnić zwartość struktury powłoki, bardzo bezpieczne jest wybór wyższej szybkości parowania. Gdy ciśnienie resztkowego gazu w komorze próżniowej jest stałe, szybkość bombardowania bombardowania podłoża jest stałą wartością. Dlatego po wybraniu wyższego wskaźnika osadzania gazowy gaz zawarty w zdeponowanej folii zostanie zmniejszony, zmniejszając w ten sposób reakcję chemiczną między resztkowymi cząsteczkami gazu i cząstek odparowanego materiału folii. Dlatego czystość zdeponowanego filmu można poprawić. Należy zauważyć, że jeśli wskaźnik osadzania jest zbyt wysoki, może zwiększyć naprężenie wewnętrzne filmu, powodując wzrost defektów warstwy filmu, a nawet pękanie warstwy filmu w ciężkich przypadkach. W szczególności, w procesie odparowania reaktywnego, można wybrać niższą szybkość osadzania w celu umożliwienia gazu reakcyjnego i odparowanego materiału filmu do wystarczająco reakcji. Oczywiście do różnych metod parowania należy stosować różne szybkości parowania. Jako praktyczny przykład tego, w jaki sposób niski wskaźnik osadzania może wpływać na wydajność filmu, jest osadzanie filmu odblaskowego. Na przykład, gdy grubość filmu wynosi 600 x 10-8 cm, a czas parowania wynosi 3S, współczynnik odbicia wynosi 93%. Jeśli jednak wskaźnik parowania zostanie spowolniony w tej samej grubości filmu, ukończenie składania filmu zajmuje 10 minut. W tym czasie grubość filmu jest taka sama. Jednak współczynnik odbicia spadł do 68%.

2. Temperatura podłoża

Temperatura podłoża ma również duży wpływ na powłokę parowującą. Resztkowe cząsteczki gazu zaadsorbowane na powierzchni podłoża w wysokich temperaturach podłoża są łatwo usuwane. W szczególności ważniejsze jest wykluczenie cząsteczek pary wodnej. Ponadto nie tylko łatwo jest promować przejście od fizycznej adsorpcji do adsorpcji chemicznej w wyższej temperaturze, zwiększając w ten sposób siłę wiązania między cząstkami. Ponadto różnica między temperaturą rekrystalizacji cząsteczek pary a temperaturą substratu można zmniejszyć, zmniejszając w ten sposób lub eliminując naprężenie wewnętrzne na interfejsie folii-substrat. Ponadto, ponieważ temperatura substratu jest związana ze stanem krystalicznym folii, powłoki amorficzne lub mikrokrystaliczne są łatwo tworzone w niskich lub bez żadnych warunkach ogrzewania na podłożu. I odwrotnie, gdy temperatura jest wyższa, łatwo jest wygenerować powłokę krystaliczną. Zwiększenie temperatury podłoża jest również korzystne dla poprawy właściwości mechanicznych powłoki. Oczywiście temperatura podłoża nie powinna być zbyt wysoka, aby zapobiec ponownej ewapiowaniu powłoki odparowanej.

3. Wpływ resztkowego ciśnienia gazu w komorze próżniowej na wydajność filmu

Ciśnienie gazu resztkowego w komorze próżniowej ma duży wpływ na wydajność błony. Jeśli ciśnienie jest zbyt wysokie, resztkowe cząsteczki gazu są nie tylko łatwe do zderzenia z odparowanymi cząstkami, tak że energia kinetyczna osób strzelających na podłożu jest zmniejszona, co wpływa na przyczepność filmu. Ponadto nadmierne resztkowe ciśnienie gazu poważnie wpłynie na czystość membrany i zmniejszy wydajność powłoki.

4. Wpływ temperatury parowania na powłokę parowania

Wpływ temperatury parowania na wydajność filmu pokazuje szybkość parowania w funkcji temperatury. Gdy temperatura waporyzacji jest wysoka, ciepło parowania spadnie. Jeśli materiał filmowy paruje powyżej temperatury parowania, nawet niewielka zmiana temperatury może powodować szybką zmianę szybkości parowania materiału filmowego. Dlatego bardzo ważne jest precyzyjne kontrolowanie temperatury parowania podczas osadzania folii, aby uniknąć dużego gradientu temperatury po podgrzewaniu źródła parowania. W przypadku materiału filmowego, który jest łatwy do wysublimowania, sam materiał filmowy jest wybierany jako grzejnik, a środki takie jak odparowanie są również bardzo ważne. .

Powyższe cztery aspekty to wspólne czynniki wpływające na wydajność warstwy powłoki maszyny do powłoki próżniowej, a także są konwencjonalnymi czynnikami wpływającymi. Podczas procesu powlekania maszyny do powłoki próżniowej należy upewnić się, że czynniki te są w stanie normalnym.