Co to jest reaktywne rozpylenie?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Co to jest reaktywne rozpylenie?

Rozpłuszanie jest powszechną techniką fizycznego odkładania pary (PVD) China twarde folia próżniowa maszyna do powłoki próżniowej , jedna z metod produkcji cienkich powłok. Standardowe rozpylenie wykorzystuje cel wszystkiego, co jest pożądany czysty materiał, i gaz obojętnego, zwykle argon.

Jeśli materiał jest pojedynczym czystym elementem chemicznym, atomy po prostu zejdą z celu w tej formie i osadzają się w tej formie.

Możliwe jest jednak również zastosowanie niehertowego gazu, takiego jak tlen lub azot zamiast lub (częściej) oprócz gazu obojętnego (argon). Po wykonaniu tego zjonizowany nieerowy gaz może reagować chemicznie z docelową chmurą pary materiałowej i wytwarzać związek molekularny, który następnie staje się osadzoną folią. Na przykład cel krzemowy reaktywnie rozpylony gazem tlenu może wytwarzać film o tlenku silikonu lub z gazem azotowym może wytwarzać folię krzemową azotku.

Udział: