Jaka jest zasada robocza maszyny do powłoki próżniowej？

W dziedzinie powłoki grubość próbki filmu po powładzie jest ważnym czynnikiem wpływającym na wydajność filmu. Dlatego przy ocenie wydajności próbki filmu konieczne jest przetestowanie wydajności próbki filmu pod różnymi grubościami. W przypadku powłoki próżniowej często wymaga to wielu przygotowań do próbki. Istnieją jednak dwa problemy w przygotowywaniu próbek na wiele razy: po pierwsze, stan instrumentu jest inny dla próbek uprawianych w różnych czasach, tak że czynnik wpływający na wydajność próbki filmu może nie tylko grubość; Po drugie, próbka musi zostać ponownie odkurzona w eksperymencie powlekania próżniowym. Uzyskanie jest bardzo czasochłonne. Zwiększ koszty produkcji i testowania.

Dlatego dostarczany jest wielofunkcyjny system powlekania rozpylania magnetronowego. System ten jest zintegrowany przez system powlekania próżniowego i system rękawiczek. Może ukończyć odparowanie cienkowarstwowe w komorze o wysokiej próżniowej odparowej i ma w rękawiczki o wysokiej czystości gazie. Przechowywanie i przygotowanie próbek oraz wykrywanie próbek po odparowaniu są przeprowadzane w atmosferze. Połączenie powlekania odparowy i rękawiczki zdaje sobie sprawę, że w pełni zamknięta wytwarzanie parowania, enkapsulacji, testowania i innych procesów, tak że cały proces wzrostu i przygotowania urządzenia jest wysoce zintegrowany w kompletnym systemie atmosfery kontrolnej, eliminując organiczny proces przygotowania obwodów dużych obwodów, a wpływ niestabilnych czynników w atmosferze. obwody.

Główny cel wielofunkcyjnego systemu powlekania magnetronowego: używany do przygotowania różnych filmów metalowych, folii półprzewodników, filmów dielektrycznych, filmów magnetronowych, filmów optycznych, filmów nadprzewodzących, filmów zmysłowych i różnych specjalnych filmów funkcjonalnych.