Powłoka rozpylania DK

Powłoka rozpylająca magnetron

Kolejna forma technologii powlekania PVD.

Powłoka plazmowa

Rozpuszczenie magnetronowe jest procesem powlekania plazmowego, w którym materiał rozpylający jest wyrzucony z powodu bombardowania jonów na powierzchni docelowej. Komora próżniowa maszyny do powłoki PVD jest wypełniona gazem obojętnym, takim jak argon. Stosując wysokie napięcie, powstaje wyładowanie blasku, co powoduje przyspieszenie jonów na powierzchnię docelową i powłokę plazmową. Jony argonowe wyrzucą materiały rozpylania z powierzchni docelowej (rozpylanie), co powoduje rozpyloną warstwę powłoki na produktach przed celem.

Reaktywne rozpylenie

Często stosuje się dodatkowy gaz, taki jak azot lub acetylen, który będzie reagował z wyrzuconym materiałem (reaktywne rozpylanie). W przypadku tej techniki powlekania PVD można osiągnąć szeroką gamę powłok. Technologia rozpylania magnetronowego jest bardzo korzystna w przypadku powłok dekoracyjnych (np. Ti, Cr, Zr i azotki węgla), ze względu na jej gładką naturę. Ta sama zaleta sprawia, że ​​rozpylenie magnetronowe jest szeroko stosowane do powlekania trybologicznego na rynkach motoryzacyjnych (np. CRN, CR2N i różnych kombinacjach z powłoką DLC - diamentem podobną do powlekania węglowego).

Pola magnetyczne

Rozpuszczenie magnetronowe różni się nieco od ogólnej technologii rozpylania. Różnica polega na tym, że technologia rozpylania magnetronowego wykorzystuje pola magnetyczne, aby utrzymać plazmę przed celem, intensyfikując bombardowanie jonów. Bardzo gęste osocze jest wynikiem tej technologii powlekania PVD.

Postać technologii rozpylania magnetronowego:

• Cel chłodzony wodą, więc wytwarzane jest niewielkie ciepło promieniowania
• Prawie każdy metaliczny materiał docelowy można rozpylić bez rozkładu
• Materiały niekondukcyjne można rozpylić za pomocą częstotliwości radiowej (RF)

lub moc średniej częstotliwości (MF)

• Powłoki tlenkowe mogą być rozpylane (reaktywne rozpylanie)
• Doskonała jednorodność warstwy
• Bardzo gładkie powłoki do rozpylanych (bez kropel)
• Katody (o długości do 2 metrów) można umieścić w dowolnej pozycji, a zatem wysoką elastyczność projektowania sprzętu do rozpylania

Wada technologii rozpylania magnetronowego.